Laserinstitut der Hochschule Mittweida HS Mittweida Logo
Achtung! Achtung! Aktuelle Website unter http://www.laser.hs-mittweida.de  Achtung!  

 Startseite
 Aktuelles
 Institut
 Forschung
 Nanobearbeitung
 Abschlussberichte
 Beispiele und
 Veröffentlichungen

 Mikrobearbeitung
 Mikrosintern
 Makrobearbeitung
 Hochrate
 Laser PVD
 Keramik
 Photonik / Simulation
 LµZ
 Rapid Micro
 ULTRALAS
 SKL / LiFt
 Weitere Projekte
 Publikationen
 Studium / Ausbildung
 Praktika /
 Forschungsmodule und
 Bachelor /
 Masterarbeiten

 Stellenangebote
 Kontakt
 Anfahrtsplan
 Impressum
 Hochschule Mittweida
 LIM e.V.






LHM YouTube Kanal

Lasernanobearbeitung


  Interferenzfarben
  Interferenzfarben
 
  DOE
  DOE
 
  Nano-Ripple
  Nano-Ripple
 

Die Lasernanobearbeitung in vertikaler Richtung wird am Institut durch das Verfahren PLD schon seit langer Zeit untersucht. Standen zu Beginn dielektrische Schichtsysteme im Vordergrund werden nunmehr extrem präzise Metall­schicht­stapel abgeschieden. Seit am Institut Ultra­kurz­puls­laser verfügbar sind wird auch die laterale Strukturierung untersucht.

Erfahrungen im Bereich der Laser­nano­bearbeitung existieren insbesondere auf den Gebieten:

  • Nanometergenaue vertikale Schichtabscheidung mit PLD
    • dielektrische Schichtstapel aus oxidischen Materialien
    • metallische Schichtstapel
  • Nanometergenauer vertikaler Schichtabtrag mit Excimer- und fs-Laser
  • Laterale Strukturierung mit fs-Laser
    • Erzeugung von Nanoripple, auch großflächig
    • Sub-µm Strukturierung (Abtragen, Bohren) von extrem dünnen Schichten
  • Generierung von Nanotubes mit PLD und von Nanowires mit fs-Lasermikrosintern

Die Nanotechnologien finden Anwendung z.B. in der Abscheidung und Strukturierung von extrem präzisen Metall­schicht­stapeln für spintronische Anwendungen. Die Erzeugung von diffraktiven optischen Elementen (DOE) erfolgt durch den nanometer­genauen Abtrag von optisch wirk­samen Oberflächen. In Verbindung mit Hochrate-Technologien ist auch die groß­flächige Nano­strukturierung mit fs-Laserstrahlung möglich. Dadurch können Oberflächen physikalisch "eingefärbt", wasserabweisend gestaltet oder die Reibung gemindert werden.


Koordinator: Dipl.-Phys. Robby Ebert




Abschlussberichte
Beispiele und Veröffentlichungen
   Nanobearbeitung - Beispiele und Veröffentlichungen
 
 
Erstellt: 07.02.2012 16:48 | Letzte Änderung: 09.02.2012 11:37
©1998-2017 Laserinstitut der Hochschule Mittweida. Alle Rechte vorbehalten. * Copyright Information ...


Valid CSS!