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Beispiele und Veröffentlichungen


Laser CVD allgemein pdf-Datei 179kB
   metallische und nichtmetallische Schichtabscheidung
Laser CVD TiSi pdf-Datei 3669kB
   direktes Schreiben von TiSi-Leitbahnen
Laser CVD TiN pdf-Datei 1306kB
   mit flächiger Abscheidung
Laser CVD TiN pdf-Datei 1131kB
   mit direktem Schreiben
Abtragsverhalten von Al2O3-Keramik
   Abtragsverhalten von Al2O3-Keramik bei verschiedenen Strukturgrößen und -tiefen
   mit Excimerlasermaskenprojektion
Drilling of Glass
   Drilling of Glass by Excimer Laser Mask Projection Technique
Mikrobohrungen
   Erzeugung von Mikrobohrungen in Pyrexglas
Bearbeitung von Pyrexglas pdf-Datei 49kB
   Bearbeitung von Pyrexglas mittels CO2-Laserstrahlung
Beispiele für die Mikrobearbeitung pdf-Datei 86kB
   Anwendungen der Lasermikrobearbeitung
Mikrobearbeitung Kunststoff pdf-Datei 169kB
   Lasermikrostrukturierung mit Scanner
Mikrobearbeitung Metall_Keramik pdf-Datei 296kB
   3D Mikrostrukturierung mit Nd:YAG-Laser und Scanner
Kammer für Laserbearbeitung pdf-Datei 282kB
   Kammer für Laserbearbeitung
Erzeugen und Verfüllen von Mikroöffnungen pdf-Datei 154kB
   Erzeugen und Verfüllen von Mikroöffnungen
3D-Microstructuring pdf-Datei 3530kB
   3D_microstructuring of Pyrex glass for the manufacturing of hybrid microsystems by laser processing
Microstructuring pdf-Datei 1507kB
   Microstrukturing of PYREX glass and polymers by excimer laser
Mikrostrukturierung pdf-Datei 491kB
   Mikrostrukturierung mit ns- und fs-Pulsen
Mikrobohren pdf-Datei 102kB
   Mikrobohren von PYREX Glas mittels fs-Laser
ArF-Laser pdf-Datei 94kB
   ArF-Laser-Mikrostrukturierung von PYREX Glas
ArF-Laser pdf-Datei 94kB
   Microstructuring of PYREX glass by excimerlaser
Laserstrahlumformen pdf-Datei 270kB
   Laserstrahlumformen von Silizium
Mikrostrukturierung von Glas pdf-Datei 479kB
   Mikrostrukturierung mit fs-Pulsen
Mikrostrukturierung von Glas pdf-Datei 622kB
   Poster, engl.
Mikrostrukturierung von Polymeren und ta-C pdf-Datei 622kB
   Excimerlaser
Mikrostrukturierung von ta-C und Metall pdf-Datei 622kB
   Excimerlaser
Mikrostrukturierung von Quarzglas und Kalziumfluorid pdf-Datei 622kB
   VUV-Laser
Mikrostrukturierung von WC pdf-Datei 622kB
   verschiedene Laserquellen, engl.
Mikrostrukturierung allg. pdf-Datei 622kB
   verschiedene Laserquellen, engl.


Veröffentlichungen in speziellen Projekten


Rapid Microtooling
    
LAMIS
    
Rapid Micro - Hochrate
    


 
 
Erstellt: 07.02.2012 16:48 | Letzte Änderung: 10.02.2015 13:05
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