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Lasermikrobearbeitungszentrum

Anlagentechnik


  Sinterkammerr
  Anlage zum Lasermikrosintern im Vakuum oder Schutzgas
 
  Eximer-Laseranlage
  Anlage zur 3D Mikrostrukturierung und zum Bohren
 
Es steht ein umfangreicher Anlagenpool für die Lasermikrobearbeitung zur Verfügung:
  • Hochleistungs-fs-Faserlaser (bis 25 MHz, Pulszeit 250 fs, 15W)
  • Ultrakurzpuls-Laserstation (bis 2,5 kHz, Pulszeit 150 fs)
  • VUV-Laserstation (bis 200 Hz, Pulsenergie 30mJ)
  • Excimerlaser, 248 nm, mit hoher Pulsenergie (1,2 J)
  • Excimerlaser, 193 nm, mit hoher Reprate (500 Hz)
  • versch. Nd:YAG - Laserstationen (355, 532, 1064nm)
  • versch. Faserlaser
  • CO2-Laser, TEA-Laser
  • Mikrobearbeitungstische
  • Präzisionsscanner
  • Mehrere Lasermikrosinteranlagen
  • Vakuumbearbeitungskammern
  • Beschichtungsanlagen (CVD, PLD)
  • Keramikbearbeitungsanlagen (Schweißen, Löten, Sintern)
 
 
Erstellt: 14.08.2009 13:53:11 | Letzte Änderung: 05.06.2007 17:16:11 | Autor: Robby Ebert
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