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Lasermikrobearbeitungszentrum

Technologie


 REM
 Lasergesinterte Mikrostruktur aus Wolfram
 
 REM
 Mikrostruktur in PMMA
 
 REM
 Mikrostruktur in Pyrex-Glas
 
 REM
 Mikrobohrungsraster in Molybdän
 

Langjährige Erfahrungen im Bereich der Lasermikromaterialbearbeitung existieren insbesondere auf den Gebieten:

  • Lasermikrostrukturierung mit Excimer-, fs- und VUV-Laser (Bohren, Abtragen, 3D Strukturierung)
  • Lasermikrostrukturierung mit Nd:YAG-Laser 1064, 532 und 355nm (Schneiden, Schweißen, Bohren, Abtragen, 3D Strukturierung, Sintern)
  • Lasermikrostrukturierung mit hochrepetierenden fs-Laser (3D Strukturierung, Schichtabtrag)
  • Lasermikrobearbeitung keramischer Werkstoffe (Schweißen, Sintern, Schneiden, Löten)
  • Laserbeschichtung (PLD)
  • Lasermikrosintern (W, W/Cu, Mo, Ta, Edelstahl, Oxidkeramik, SiC ...)
  • Micro Cladding
  • 3D Konturschneiden in transparenten Materialien
  • Lasermikrobiegen
  • Lasermikrobeschriften


Aktuelle Anwendungen sind:

Titan-Bohrungsarray
Mikrobohrung (Durchmesser 28 +/- 1 µm)
Titan-Maske
Mikrodurchbrüche in hoher Präzision
Molybdän-Ionenstrahlmaske
Schlitze (Breite 20+-2µm, Tiefe 300µm!)
Nanotiterplatten
Mikroöffnungsraster (Durchmesser 50µm, Rastermaß 55µm) auf großen Flächen in PMMA
Mikrofluidische Strukturen
Mikrokanäle (Breite und Tiefe je 50µm) in PMMA
Mikrodüsen
Erzeugung von Mikrodüsen mit Öffnungsdurchmesser von 10µm in Kupfer (Dicke 300µm)
Mikrobohrungsraster in Pyrex-Wafer
500 Bohrungen mit einem Durchmesser von 50µm
Mikroteile (gesintert)
Auflösung < 30µm, Aspektverhältnis größer 1:50, Material: W, W/Cu, Mo, Stahl, Keramik
Superharte amorphe Diamant- und cBN- Schichten
Schutzschichten für Mikrobearbeitungswerkzeuge
Photonische Kristallstrukturen
3D Struktur mit 400x400x200 Elementen, Abstand - horizontal 2,5 µm, - vertikal 10 µm


Kontaktieren Sie uns!

Wir helfen auch Ihnen bei Problemlösungen im Mikrobereich.  Kontakt


 
 
Erstellt: 14.08.2009 13:53:11 | Letzte Änderung: 07.04.2011 12:59:46 | Autor: Robby Ebert
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