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Ultrapräzisions-Laserbearbeitung - ULTRALAS

Die Teilprojekte und deren Ziele


Alle fachlichen Teilprojekte sind auf das Gesamtvorhaben, die Steigerung der Präzision der Lasermikrotechnologien, ausgerichtet.

Im Einzelnen werden folgende Teilprojekte bearbeitet:

  • Ultrapräziser 3D Mikroabtrag mit Ultrakurzpuls-(UKP)-Laserstrahlung
  • Höchstaufgelöstes Lasermikrosintern
  • Ultrapräzises 3D Innenkonturschneiden mit UKP-Laserstrahlung
  • Präzisionsschichtabtrag mit UKP-Laserstrahlung
  • Einsatz von Spatial-Light-Modulatoren (SLM) und Digital-Micro-Mirror-Device (DMD) zur Strahl-formung für die direkte und die Maskenprojektions-Femtosekunden-(fs-) Lasermikrostrukturierung und für die Erzeugung des Burst-Modus von fs-Laserstrahlen
  • Erzeugung von Mehrschichtsystemen aus metallischen und magnetischen Materialien für mik-roelektronische / spintronische Anwendungen auf 4“-Wafern mittels Laserpulsabscheidung (PLD)
  • Erzeugung von komplexen Mikrostrukturen in Stahl durch Pikosekunden- (ps-) und Femtosekunden- (fs-) Laserstrukturierung
  • Erzeugung von mikrooptischen Bauelementen in dielektrischen Materialien mittels Fluor- und Femtosekunden-Laserstrukturierung
  • Ultrapräzisionsbohren mit UKP-Laserstrahlung
  • Ultraschnelle Ellipsometrie

Folgende technologische Ergebnisse werden angestrebt:

Neuartige Verfahren und Verfahrensvarianten zur produktiven Lasermikro- und Nanostrukturierung mittels Ultrakurzpulslaser, insbesondere für die Erzeugung von 3D-Mikrostrukturen in metallischen Oberflächen und dielektrischen Materialien sowie von ultrapräzisen 3D-Konturen, Bohrungen und Schichtabtraggeometrien.

Verbesserung des lasergestützten Mikrosinterverfahrens bezüglich geringerer Strukturabmessungen und Festigkeit der erzeugten Bauteile.

PLD-Abscheidung dickenhomogener, partikulat- und kontaminationsfreier ultradünner Schichten und Schichtsysteme auf mindestens 4“ – Substraten für mikroelektronische und spintronische sowie sensortechnische Anwendungen.

Neuartige Laserstrahlführungs- und -Formungssysteme, insbesondere zur Femtosekundenlaser-Maskenprojektion und zur Erzeugung des Burst-Modus von Femtosekundenlaserstrahlen.

Neuartiges ultraschnelles Ellipsometrie-Messverfahren zur Charakterisierung von Festkörperoberflächen und dünnen Schichten.



SAB
 
 
Erstellt: 05.08.2015 17:32:32 | Letzte Änderung: 05.08.2015 17:37:17 | Autor: Robby Ebert, Sascha Klötzer
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