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Laser PVD von C3N4 - Schichten

 

Im Rahmen der Forschungsarbeit wurden Kohlenstoffschichten und Kohlenstoffnitridschichten mittels Laserpulsablation bei der Wellenlänge 248 nm abgeschieden. Der Einbau des Stickstoffs in die Schichten wurde durch Beschuss der aufwachsenden Schichten mit Stickstoffionen realisiert, wobei das C/N-Verhältnis der amorphen Schichten bislang 0,33 bis 0,39 beträgt. Ein weiterer Schwerpunkt der Arbeiten bestand in der Untersuchung des Einflusses eines UV-Photonenbeschusses der aufwachsenden Schichten.
Durch Laserpulsablation mittels hoher Laserleistungsflußdichten (2,7*108 W/cm2) werden diamantähnliche amorphe Kohlenstoffschichten mit großer optischer Bandlücke von 1,8 eV abgeschieden.
Der Beschuss der aufwachsenden Schichten mit Ionen sowie die Abscheidung bei Temperaturen oberhalb von ca. 150 °C führt zu einer Zunahme des Anteils an graphitischen Bindungen in den Schichten.

 

 
 
Erstellt: 20.01.2012 09:39:56 | Letzte Änderung: 28.03.2003 09:18:59
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