R.Ebert;
U.Illmann;
G.Reiße: Anordnung und Verfahren zur flexiblen Erzeugung von Mikrostrukturen auf großen Flächen,
Priorität 02.03.1995,
Aktenzeichen DE 195 07 206
U.Illmann;
R.Ebert;
G.Reiße: Anordnung zur Abscheidung von Schichten mit geringer Rauhigkeit,
Aktenzeichen 195 07 206.5, Anmeldetag 02.03.1995
Erstellt: 14.08.2009 12:53 | Letzte Änderung: 11.04.2011 08:26