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R.Ebert; U.Illmann; G.Reiße: Anordnung und Verfahren zur flexiblen Erzeugung von Mikrostrukturen auf großen Flächen, Priorität 02.03.1995, Aktenzeichen DE 195 07 206
U.Illmann; R.Ebert; G.Reiße: Anordnung zur Abscheidung von Schichten mit geringer Rauhigkeit, Aktenzeichen 195 07 206.5, Anmeldetag 02.03.1995



Erstellt: 14.08.2009 13:53 \| Letzte Änderung: 11.04.2011 09:26
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