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R.Ebert; U.Illmann; G.Reiße:
Anordnung und Verfahren zur flexiblen Erzeugung von Mikrostrukturen auf großen Flächen,
Priorität 02.03.1995, Aktenzeichen DE 195 07 206

U.Illmann; R.Ebert; G.Reiße:
Anordnung zur Abscheidung von Schichten mit geringer Rauhigkeit,
Aktenzeichen 195 07 206.5, Anmeldetag 02.03.1995

 
 
Erstellt: 14.08.2009 12:53 | Letzte Änderung: 11.04.2011 08:26
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